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发表于 2025-1-17 00:27:02
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tsenway 发表于 2025-1-16 10:58/ s6 v, \6 x( c. L$ y! v2 \
北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上，很明显是有点语嫣不详。
4 ^1 ^4 Z: i8 B+ u0 S先看今天北大、交大官网上 ...
2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍 b% _, w1 M$ m
北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介
, {: i/ N1 {3 A8 P) k$ i; `来自： 电子与信息 >9 i. Z- G6 h% w. l

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" F- W" h. d, s4 H/ I8 n9 E; T) F微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805)3 w w1 m0 r5 P3 f* ]
所属单位 信息科学技术学院 0 g, a! p2 n4 e) l# C
使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层/ a4 E6 q, y u' H' E7 z. X
管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室* % m" f9 `) ^1 h0 X" l, a
实验室主任 王阳元 # p; q( e% K; Z! U6 e+ D
微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境，拥有900平方米超净厂房，150余台套工艺实验和检测设备，价值超过8000万元，是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。
3 E. c; B% {8 J8 d6 I7 O 实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面，实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师，是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
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