中国不是百年前，也不是五十年前的中国，哈工大EUV划时代的进步
中国不是百年前，也不是五十年前的中国，哈工大EUV划时代的进步:https://mbd.baidu.com/newspage/data/videoshare?nid=sv_997020762295809558&rawFrom=feed_video_landing&rs=2396523109&ruk=eyeiaObFNAk7IlbXQFYn6w&sid_for_share=&sid_for_share=129973_2&source=&share=shareButton 厉害啊啊啊啊啊啊啊啊啊啊 大家自行百度中国不是百年前，也不是五十年前的中国，哈工大EUV划时代的进步 睢园绿竹 发表于 2025-1-24 15:50
厉害啊啊啊啊啊啊啊啊啊啊
这是台湾人的评价。
国家应大力支持哈工大赵永蓬教授团队。 但是哈工大还是30年前水变油的那个哈工大，习惯性造假宣传。这玩意跟光刻机光源压根不是一个东西。 光刻机吹牛逼吹了无数年，ic生产线上全部是asml和nikon的光刻机，可见哈工吹有多不靠谱 哈工马甲说说看，国内ic生产线上有国产的光刻机吗，不要说euv，连duv和muv都没有吧。吹牛逼的习惯要改改了，水变油都过去这么多年了 这么牛逼，吹子要颅内**了，问题是为啥才拿个省级奖项，肯定是不识货;P 看好，继续努力。 验证期6年刚满，今年会申请其他奖的， 笑死了，这视频哪怕拿赵永蓬这种虽然做了几年DPP最后做不下去的来吹也行，拿个做机器人的吹EUV也是滑稽 kenwai 发表于 2025-1-24 21:18
笑死了，这视频哪怕拿赵永蓬这种虽然做了几年DPP最后做不下去的来吹也行，拿个做机器人的吹EUV也是滑稽 ...
台湾人是搞混了，两个项目都获奖了。把赵永蓬教授说成了樊继壮教授。
谁说搞DPP搞不下去了？都有突破了。
胡说八道。 本帖最后由 yuquanshan 于 2025-1-25 06:24 编辑
小梅沙 发表于 2025-1-25 01:30
台湾人是搞混了，两个项目都获奖了。把赵永蓬教授说成了樊继壮教授。
谁说搞DPP搞不下去了？都有突破了。 ...
日台人士：樊继壮大大地好！
赵永蓬：皇军夸我了，夸我了，夸我了，。。。。
路人：人家夸的是樊。
赵：皇军只是分不清名字，准是夸我了。你竟然要求皇军认识汉字名字，良心大大地坏！
路人：鬼子文字里本来就用汉字！
ASML和国内EUV，现阶段肯定都是走LPP路线，这方面日本探索了几十年也没绕开LPP，什么光纤激光器，DPP至少目前肯定是不可行，这话是上海光机所某大咖说的。
国内一些无良自媒体，每年都要周期性地拿光源出来消费一下哈工大，反正都是光源，一般读者哪里分得清 小梅沙 发表于 2025-1-25 01:30
台湾人是搞混了，两个项目都获奖了。把赵永蓬教授说成了樊继壮教授。
谁说搞DPP搞不下去了？都有突破了。 ...
不懂可以保持沉默，别天天消费哈工大的口碑 kenwai 发表于 2025-1-25 12:22
不懂可以保持沉默，别天天消费哈工大的口碑
泉州市政府都在与哈工大赵永蓬谈EUV光源项目的引进，人家都经过全面调查的。中国目前就两家在研EUV光源。
尊敬的蒋碧辉代表：
《关于泉州引进EUV光源技术项目的几点建议》（第1029号）收悉。该建议由我管委会会同泉州市财政局办理。现将有关办理情况汇总答复如下：
一、我市半导体产业发展及EUV光源技术的基本情况
2016年，为推动全市产业转型升级、经济跨越发展，泉州市委、市政府及时作出决策部署，瞄准半导体产业赛道谋求创变突围，提出“举全市之力、借全国之势、聚全球之智”大力发展半导体产业。截至目前，全市已累计引进半导体产业重点项目88个，总投资规模1527亿元，初步形成“以集成电路、化合物半导体为支柱”、“以晋华、三安、渠梁为龙头”、“集成电路、光芯片、射频芯片、高端光电芯片、特种材料五大产业链条”的“235”发展格局。2021年9月，泉州半导体产业集群列入福建省首批战略性新兴产业集群名单。2023年全市实现半导体产业产值285亿元，近三年年均增长率为36.1%，未来有望继续保持高速增长态势。
随着半导体先进制程的不断发展，EUV光源技术已成为影响芯片制造成本和质量的关键技术之一。据了解，目前国内在研的EUV光源技术以哈尔滨工业大学的放电等离子体极紫外光源（DPP）以及中国科学院上海光机所的激光等离子体极紫外光源（LPP）为主，并实现一定程度上的突破，可用于光刻机元件及整机，掩膜质量、晶圆质量等生产环节的检测。我市半导体产业起步较晚，相关人才储备相对不足，相关专业高等院校和科研机构较为缺乏，因此尚未能引进落地此类优质项目。
二、积极开展EUV光源技术项目招商引资工作
管委会充分发挥晋华、三安、渠梁等产业链主企业引领带动作用，瞄准设备制造、零部件配套、精密仪器等关键技术领域开展招商活动，推动产业链上下游集聚发展。一是锚定关键技术。将发布并组织实施《泉州市光子技术产业发展规划（2023-2027）》，打造以先进微纳光子技术、超精密光学工程技术为特色的高新技术产业集群，《规划》已把先进成像光学技术纳入重点发展方向，抢抓光刻技术发展机遇。二是聚力产业链招商。以实施“链长制”为重要抓手，聚焦产业强链补链延链，瞄准晋华、渠梁国产化替代关键环节，建立健全龙头企业联合招商机制，绘制完善产业链招商图谱，精准招引泰研先进封装设备、良颐科技半导体传送设备等先进制程关键零部件，有效补齐产业配套环节。三是开展“点对点”招商。基于您的建议，今年4月份，管委会主任洪武强带队赴哈尔滨工业大学开展“点对点”招商活动，专门对接赵永蓬教授及其科研团队，围绕放电等离子体极紫外光源（DPP）项目开展深入交流，构建团队及技术引进的靶向对接渠道。
三、积极构建EUV光源技术发展的产业生态
EUV光源等半导体关键技术属于技术、人才、资金密集型产业，引进发展该产业对所在地软硬件环境有较高的要求，管委会及有关市直单位推出一系列务实举措，不断优化完善我市半导体产业生态。一是加强政策支持。市财政局会同相关部门，制定出台《泉州市关于支持扩大有效投资促进产业发展提质增效的实施意见》及企业技术创新基金实施方案、中小微企业融资增信基金实施方等相关配套政策，构建“1+N”“财政政策+金融工具”政策体系，鼓励和带动社会资本参与半导体领域投资，全面推进半导体企业提升行业竞争力。二是提供金融保障。管委会会同市财政局、金控集团等有关单位，共同推动泉州市半导体产业投资基金设立（总规模30亿元，首期10亿元）。同时，签约落地元禾厚望、国科嘉和等行业头部基金，全面优化半导体产业金融生态，助力半导体产业链相关技术的落地转化。三是建设科研平台。贯彻落实省、市两级工作部署，管委会会同市科技局、泉州发展集团、丰泽区政府等有关单位筹建福建省光子协同创新研究院，助力我市光子产业高质量发展，也将为我市吸纳EUV光源科研团队及技术转化提供有力支撑。四是升级引才政策。聚焦人才“招引用留”难题，管委会牵头制定《泉州市支持半导体产业人才引进若干措施》（泉政办规〔2023〕16号），在购房补贴、大学毕业生一次性生活补助等方面进一步提高标准，为半导体高端人才引进提供“真金白银”的政策支持。
下一步，管委会将会同有关单位，积极对接哈尔滨工业大学、中国科学院上海光机所等国内具备EUV光源技术研发能力的相关高校院所，力争引进EUV光源技术的领军人物和专家团队，导入相关的EUV光源技术。同时，持续对接国家开发银行、中国进出口银行等政策性银行资源，深化与优质半导体投资机构的合作，为引进EUV光源等半导体产业链相关技术做好要素保障。
衷心感谢您对我市半导体产业发展的关心和支持！
泉州半导体高新技术产业园区管理委员会
2024年5月21 zh_cti 发表于 2025-1-25 09:24
ASML和国内EUV，现阶段肯定都是走LPP路线，这方面日本探索了几十年也没绕开LPP，什么光纤激光器，DPP至少目 ...
LPP要超大功率C02激光器，中国目前差数量级。DPP有缺点，当然要解决，没有捷径可走。 小梅沙 发表于 2025-1-25 12:59
泉州市政府都在与哈工大赵永蓬谈EUV光源项目的引进，人家都经过全面调查的。中国目前就两家在研EUV光源。 ...
30亿还想玩euv，dpp能用到检测就不错了。还是那句话，不懂就别消费了 zh_cti 发表于 2025-1-25 09:24
ASML和国内EUV，现阶段肯定都是走LPP路线，这方面日本探索了几十年也没绕开LPP，什么光纤激光器，DPP至少目 ...
电极侵蚀是DPP 光源结构设计所面临的一个重大挑战。它会导致电极寿命下降，也会对等离子体纯度造成影响，进一步地会加剧放电性能的不稳定性。在之后的章节对于 DPP 光源结构的论述中，我们会着重阐述各路大神是怎样八仙过海应对这一问题的。有采用无电极设计的，消除电极与等离子体的接触；有动态更换电极材料的，持续更换被侵蚀的电极材料；有采用局部化侵蚀设计的，将损耗控制在很小的区域内。这些设计可以说是非常巧妙，精彩。但是，你懂的，工程设计是妥协的艺术，它们或多或少都存在一些限制。这个就留到以后细讲了。
在我写这篇稿子的时候，看到了哈工大研制出了基于 DPP 的 EUV 光源的新闻。真的发自内心为国家科技的进步感到高兴。这算得上量产光刻机的一个核心突破了。尽管摆在我们面前的技术难题还有很多，但是锲而不舍，金石可镂。国产光。存在捷径，这些难关必须一个不少地解决。所谓的弯道超车，只不过是比别人付出了更多罢了。我本人是坚信国产光刻一定会追平乃至超越当前国际水平的。我们国家的社会制度是有优越性的，是能够集中力量办大事的，只要大家心往一处想，劲往一处使，没有无法克服的困难的。前途是光明的，道路是曲折的，人生也是这样，波浪式前进，螺旋式上升。尽管可能有人说，前途光明我看不见，道路曲折我走不完，但这些都是主观感受，我们要相信客观事实，前途一定是光明的，道路也一定是曲折的，唯一值得恐惧的只有恐惧本身。
雄关漫道真如铁，而今迈步从头越。从头越，苍山如海，残阳如血！ yuquanshan 发表于 2025-1-24 16:01
但是哈工大还是30年前水变油的那个哈工大，习惯性造假宣传。这玩意跟光刻机光源压根不是一个东西。 ...
对头。 这东西那点功率，根本就用不到光刻机上。
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