集成电路纳米计量

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集成电路纳米计量测试分会场汇聚了来自中国计量科学研究院、哈尔滨工业大学、华中科技大学、天津大学、中国船舶和中国航空工业集团等科研单位的研究人员，以及上海微电子装备、东方晶源等集成电路相关企业的工程技术专家参会。与会人员围绕先进制造领域的纳米计量技术、MEMS传感器计量需求、微纳面型测量、超精密激光干涉仪和半导体关键尺寸量测等关键议题展开深入探讨，为先导产业的高质量发展提供了技术交流合作机会。
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近年来，物理科学与工程学院面向国家先导产业量检测的计量需求持续攻关，研发出多种高精度国家一级标准物质和嵌入式计量设备，有望为纳米制造领域计量测试需求提供现场校准技术方案。未来，学院将持续深化纳米计量测试技术的研究，推动纳米计量与纳米制造产业的深度融合，并加快相关科研成果的转化应用。