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物理科学与工程学院承办计量支撑新质生产力发展推进会分会场活动, L5 i+ P6 F( f1 w' E3 i K: C
# R' k9 `: q: o9 n; X/ v7 [[color=rgb(51, 51, 51) !important]近日，由国家市场监督管理总局和江苏省人民政府指导举办的计量支撑新质生产力发展推进会暨2024测量科学与产业计量测试技术报告会在苏州举行。大会吸引了来自全国各地650余位计量测试专家学者及行业代表参会，设有1个主会场和5个分会场，物理科学与工程学院承办了其中集成电路纳米计量测试分会场活动。! e! P* t! J+ p* {. Z
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[color=rgb(51, 51, 51) !important]集成电路纳米计量测试分会场汇聚了来自中国计量科学研究院、哈尔滨工业大学、华中科技大学、天津大学、中国船舶和中国航空工业集团等科研单位的研究人员，以及上海微电子装备、东方晶源等集成电路相关企业的工程技术专家参会。与会人员围绕先进制造领域的纳米计量技术、MEMS传感器计量需求、微纳面型测量、超精密激光干涉仪和半导体关键尺寸量测等关键议题展开深入探讨，为先导产业的高质量发展提供了技术交流合作机会。 [color=rgb(51, 51, 51) !important]近年来，物理科学与工程学院面向国家先导产业量检测的计量需求持续攻关，研发出多种高精度国家一级标准物质和嵌入式计量设备，有望为纳米制造领域计量测试需求提供现场校准技术方案。未来，学院将持续深化纳米计量测试技术的研究，推动纳米计量与纳米制造产业的深度融合，并加快相关科研成果的转化应用 " }8 T' q9 {! o9 A# \3 q3 f& g
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