上海交大先进电子材料与器件平台10年启新（微米纳米加工技术全国重点实验室）

tsenway

https://news.sjtu.edu.cn/mtjj/20241128/204717.html
2024年11月26日，上海交通大学先进电子材料与器件平台（以下简称“AEMD平台”）迎来十周年庆，同时平台正式开放二、三期运行。

7 m7 P4 W3 _$ O$ i0 K# LAEMD平台创建于2012年，目标是建立一个服务于交大全校的微纳加工工艺实验平台，并面向校外科研院所和企业开放共享。一期净化工程于2014年建成开放，为具有纳米尺寸图形化能力的6英寸无源微纳结构与器件加工的科研实验线，涵盖光刻、薄膜、刻蚀、热工艺等全链式微纳加工工艺。
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继一期开放后，AEMD又追加逾3亿元投入平台二、三期建设，建成1200余平米、洁净度从十级到千级标准的东区超净间。现整体拥有近1800平米东、西区两个净化实验室，6、8英寸先进微纳加工实验线各一条，具备多层级光刻图形化、薄膜生长与沉积、干法刻蚀、湿法清洗与刻蚀、先进封装、表征与测试等完善的微纳加工与测试能力，新增全自动深紫外步进式光刻机、离子注入机、分子束外延、激光诱导玻璃刻蚀、晶圆键合等先进的微纳加工与封装设备，有效增强了平台在有源电/光器件、MEMS、先进三维封装等领域的科研服务支撑能力。
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“AEMD平台已发展成为国内开放程度高、运行机制良好的知名微纳加工平台。”上海交通大学党委常委、副校长蒋兴浩表示，十年来，平台为上海交通大学多学科发展和交叉融合作出了突出贡献，同时积极对接校外科研院所和科技企业的项目需求，促进产业关键技术创新与突破。
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据悉，近年来，随着万物互联、人工智能等技术发展，对微纳技术也提出了更高的要求， AEMD在新型光电器件等方面提前布局，支撑校内外科研团队在相关领域实现突破，取得了丰硕成果。二、三期针对有源电/光器件、异质异构先进封装等方面做了前瞻布局，新增8英寸级高端微纳加工与测试新设备，助推上海交通大学的微纳加工能力从无源器件全面提升到有源器件加工水平。

, v  A, g  y  W% }: [本次活动汇聚了多家科研院所、知名企业、领域专家及技术人员参与，部分企业向平台捐赠最新科研仪器设备，助力微纳极端加工技术的突破。
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: ^; O+ @  a3 E, N很遗憾，我交添置不起EUV。

NatureBoy

恭喜！

tsenway

* u0 M* N7 }, x+ g- ^0 Z如果是芯片设计的新手，所在公司出了EDA之外无其它高级设备。你用RTL语言建模之后想验证自己的系统，或是通过EDA手段完成布局布线生成了IC的版图，你还不放心，那么你不妨上微纳加工工艺实验平台去测试检查自己的设计，以免到代加工的生产线上，来回折腾。
一旦，你想调试的诸如C-919，C-929或某燃气轮机内码，最终需要的不超过千把片，而且集成度又不太高，你不妨就直接微纳加工工艺实验平台上刻写镀膜封装成芯片。而不必上SMIC，更不要去难为TSMC那些大机构。因为批量太少，上大机构的8寸或12寸的晶圆上产线就太不合算了。

waldvogel

希望继续打磨更高精度

lgyyuuki

waldvogel 发表于 2024-12-3 23:32
0 H3 p% q5 d  M3 G9 k希望继续打磨更高精度

继续从贵校引进打磨人才，顺带输送在我校混不下去的混子去贵校当院长

MichaelSJTU

waldvogel 发表于 2024-12-3 23:32
希望继续打磨更高精度

Loser就是Loser，Mentality都是扭曲的。

imperialpc

waldvogel 发表于 2024-12-3 23:32
) \2 d) j! c1 b5 t6 g希望继续打磨更高精度

6 h3 j, e: g4 r/ F8 Z8 j, {, X希望别再进同济医院的莆田庸医

tsenway

小瓦博士认得图中主被告（戴眼镜的）这位校友吗？ 他正是同济的打磨高手。
他作为陈进的校友与超级打磨高手，汉芯课题组陈进的贴身顾问。因打磨辛苦不受祿，当深喉把主子陈进出卖了。陈进落水后，深喉认21世纪的沈颢为新主子。
过两年，陈进因山寨手机芯片发财了。
: g3 b  L- \' l9 X5 P$ i# u! G深喉与21世纪的沈颢狼狈为奸，向山寨芯片进行勒索。深喉终于又一次案发。遭刑事起诉。
这次，这位济济校友的深喉又出卖新主子沈颢。远在广东的21世纪报刊的沈颢当了第二被告，陪同深喉住了三年班房。
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8 }; N7 T1 r3 @) u0 n: ]! d
图中，是上海法庭审理勒索案的现场照片。被告席上主被告（戴眼镜那位就是我济的深喉）。主被告立功，检举21世纪的老总沈颢当共同被告，一同受审，共同被告沈颢立在左边的话筒前。

tsenway

因这起案子是刑事犯罪案件。
( t1 O2 c# z8 G公诉人是原告。
没有受害人的席位。

SanyouBio

土豆 发表于 2024-12-4 19:57
再怎么喊，打磨芯片的丑闻也是上交出的，陈述一个事实，马甲们破防至此。 ...

是的，同济的耻辱

kapior

土豆 发表于 2024-12-4 19:57
8 h$ C1 T9 V$ l$ F5 `; X+ w再怎么喊，打磨芯片的丑闻也是上交出的，陈述一个事实，马甲们破防至此。 ...

这个道理只有聋子听不懂。客观说，没有清算这个事，对上交是不利的。不然很大可能也基本不会出现同济抢滩人工智能的事。

xuejuntian64

同济在人工智能上的项目都来自陈杰

连砍十八人

kapior 发表于 2024-12-4 21:00
这个道理只有聋子听不懂。客观说，没有清算这个事，对上交是不利的。不然很大可能也基本不会出现同济抢滩 ...

没用的。
  C: u3 `! s& J0 w3 V9 }) a* v你都看到了，不粘锅认为自己的崽子全是隔壁老王的责任。

xizihupan

土豆 发表于 2024-12-4 19:57
再怎么喊，打磨芯片的丑闻也是上交出的，陈述一个事实，马甲们破防至此。 ...

打磨芯片的主角陈进是同济的毕业生难道不是事实？不过你这个马甲不见得是同济的，倒是像瘦肉精

xizihupan

xuejuntian64 发表于 2024-12-4 21:29
同济在人工智能上的项目都来自陈杰

2 v3 e- @: Y" j0 W烂尾的可能性相当大

连砍十八人

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/ u8 {' s4 X1 h4 f0 g。。。。

tsenway

% n: f# k3 R4 s5 K! _/ r3 k2 y2 s谢谢楼上各位的捧场助兴。
微米纳米加工技术国家级重点实验室是我交原有的老八，也是此前高校唯一采用此名城的国重。今年，老八与前七个国重一道通过重整，改称微米纳米加工技术全国重点实验室。
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+ ^9 I' E$ Q' @5 Y8 S' Y& Y“AEMD平台已发展成为国内开放程度高、运行机制良好的知名微纳加工平台。”----谢谢对实验室的赞扬。

SanyouBio

xizihupan 发表于 2024-12-4 21:45
% f: }7 U% n7 O烂尾的可能性相当大

- o' F7 h) o4 Q2 c) @钱和名拿到就行了， 你悲愤也没有用

beta756

车大的微纳加工平台去年也运转了