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发表于 前天 19:42
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动态双频激光干涉仪是高端超精密设备进行系统集成和调试过程中必不可少的高端精密仪器。2023年,在谭久彬院士指导下,哈工大仪器学院胡鹏程教授团队研制出“甚多轴高速超精密激光干涉仪系统”,在首届“金燧奖”中国光电仪器品牌榜中荣获金奖。消息一出,引发业内广泛关注。
“团队十余年磨一剑,研制的系列多轴高速超精密激光干涉仪系统,能够在线、实时获取超精密装备高速运动模块的纳米级相对位置。”胡鹏程说,这项成果不仅可以嵌入超精密装备作为其高速运动的测量标准,还可在各种精密工程中充当通用的超高精度激光尺。 |
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