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发表于 2025-2-17 12:19:29
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本帖最后由 tsenway 于 2025-2-17 12:24 编辑 + s* n; C D/ j6 B+ k, R8 a
m+ `9 Q7 w: _- H4 ?( s$ s我交AEMD平台(先进电子材料与器件校级共享平台)是自筹资金6000万,开通两条不同空气净化条件的8吋、6吋晶圆流水线,具备10nm至微米级微纳器件与图形的加工与测试能力。2 R/ l2 {( L, K
原因大概是原本与P大共建微纳技术平台,2012年,主管部门給我交的建设方向是非硅基的MENS(搞异质异构时含硅基),而把硅基的MENS归P大。既然如此分工,我交自筹资金6000万建设的8吋、6吋硅基晶圆流水线,就单独出来,变成AEMD平台。
# `/ ~( \ l8 N所以我交的微纳技术MENS就出现多个分支:& b4 u! F* L( f- P6 a. S* e* O
属于全国重系列的9 I* y: z) o5 b) W9 z8 w
微纳加工技术全国重点实验室(除硅基之外的一切对象,异质异构项目含硅基);
4 E% J( A3 ]% [; T/ r4 j$ @深海科学与检测全国重点实验室(在长兴海洋实验室内开建,含整套海洋声磁光电及温度压力传感器MENS制作流水线);( {+ a, {) q2 ~0 o
属于AEMD平台的$ J9 k! I, j8 o' r+ n
含硅基集成电路的先进电子材料与器件。
( c- R p7 d2 l: d+ | l另有一个与深圳大学共建的“射频异质异构技术全国重点实验室”也是相似工艺路线的微纳加工技术。; [& n+ n0 I, m2 b6 m# b& U. `
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