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5 d7 }* F' {& m我交AEMD平台(先进电子材料与器件校级共享平台)是自筹资金6000万,开通两条不同空气净化条件的8吋、6吋晶圆流水线,具备10nm至微米级微纳器件与图形的加工与测试能力。* F# c8 m* g8 v
原因大概是原本与P大共建微纳技术平台,2012年,主管部门給我交的建设方向是非硅基的MENS(搞异质异构时含硅基),而把硅基的MENS归P大。既然如此分工,我交自筹资金6000万建设的8吋、6吋硅基晶圆流水线,就单独出来,变成AEMD平台。. i+ v/ m. a- K# l6 Q. C4 C
所以我交的微纳技术MENS就出现多个分支:
* i; m+ l5 ]9 j: x( v, `. j属于全国重系列的8 }; y, A5 Q9 e1 w4 Q+ {6 R5 u
微纳加工技术全国重点实验室(除硅基之外的一切对象,异质异构项目含硅基);
8 K( v" P. N# t4 {$ l深海科学与检测全国重点实验室(在长兴海洋实验室内开建,含整套海洋声磁光电及温度压力传感器MENS制作流水线);
9 s4 Z; \6 K8 m属于AEMD平台的
: E1 g0 S# I8 t; f) ? [含硅基集成电路的先进电子材料与器件。
+ a& U2 g! `5 W$ V( x另有一个与深圳大学共建的“射频异质异构技术全国重点实验室”也是相似工艺路线的微纳加工技术。
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