|
发表于 2025-2-17 12:19:29
|
显示全部楼层
本帖最后由 tsenway 于 2025-2-17 12:24 编辑
6 v% W% x8 n1 d) ]( H5 r6 Z- |# s, {4 x! ~$ g- d* H( i' H( [% h
我交AEMD平台(先进电子材料与器件校级共享平台)是自筹资金6000万,开通两条不同空气净化条件的8吋、6吋晶圆流水线,具备10nm至微米级微纳器件与图形的加工与测试能力。! _* F6 h2 J; q g
原因大概是原本与P大共建微纳技术平台,2012年,主管部门給我交的建设方向是非硅基的MENS(搞异质异构时含硅基),而把硅基的MENS归P大。既然如此分工,我交自筹资金6000万建设的8吋、6吋硅基晶圆流水线,就单独出来,变成AEMD平台。# [: s, s. Y1 g+ \
所以我交的微纳技术MENS就出现多个分支:3 D Z& o) F! I2 |# t- w3 {- ]
属于全国重系列的
9 z9 O, F2 N& {( r微纳加工技术全国重点实验室(除硅基之外的一切对象,异质异构项目含硅基);
i4 C( }4 X; d6 j2 i; c( I深海科学与检测全国重点实验室(在长兴海洋实验室内开建,含整套海洋声磁光电及温度压力传感器MENS制作流水线);
" W: W4 c5 l. \7 s属于AEMD平台的 V1 w* `* x5 B. t1 I( |* h
含硅基集成电路的先进电子材料与器件。
7 g4 j4 s- [; V7 @另有一个与深圳大学共建的“射频异质异构技术全国重点实验室”也是相似工艺路线的微纳加工技术。
! W: P4 Q! ~- c3 I6 U0 S. Q% H, J
. H0 p' |7 W" g
. Z- E6 M$ V. j$ {) K3 z; @ |
|