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本帖最后由 tsenway 于 2025-2-17 12:24 编辑
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( E& u1 c/ v- p6 a我交AEMD平台(先进电子材料与器件校级共享平台)是自筹资金6000万,开通两条不同空气净化条件的8吋、6吋晶圆流水线,具备10nm至微米级微纳器件与图形的加工与测试能力。
( f5 }' ]& `# Q2 n# i( W5 F4 z原因大概是原本与P大共建微纳技术平台,2012年,主管部门給我交的建设方向是非硅基的MENS(搞异质异构时含硅基),而把硅基的MENS归P大。既然如此分工,我交自筹资金6000万建设的8吋、6吋硅基晶圆流水线,就单独出来,变成AEMD平台。# ` F. l G& i
所以我交的微纳技术MENS就出现多个分支:5 v& N. L6 j+ u" k
属于全国重系列的" \( x! Z0 W! }7 N
微纳加工技术全国重点实验室(除硅基之外的一切对象,异质异构项目含硅基);( {4 H% N& n. j7 X: A$ U; c( G
深海科学与检测全国重点实验室(在长兴海洋实验室内开建,含整套海洋声磁光电及温度压力传感器MENS制作流水线);
* q: @% C. `& \属于AEMD平台的
8 M$ u3 {( I E含硅基集成电路的先进电子材料与器件。
1 x8 l1 {$ U2 T2 L另有一个与深圳大学共建的“射频异质异构技术全国重点实验室”也是相似工艺路线的微纳加工技术。! c: W' m" t- q# O
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