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哈工大崔怀愈副教授课题组在极紫外光场调控领域取得重要突破。

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2025年09月02日 新闻网
哈工大全媒体(商艳凯 成珂阳/文 航天学院/图)近日,我校航天学院赵永蓬团队崔怀愈副教授课题组联合中国科学院上海光学精密机械研究所张军勇副研究员,在极紫外至软X射线光场调控领域取得重要突破。相关成果以《从极紫外到软X射线的各向异性多平面焦光子筛分离器》(Anisotropically multiplanar-focal photon-sieve splitter from extreme ultraviolet to soft X-ray)为题发表在美国光学学会旗下学术期刊《光学》(Optica)上。该成果拓展了短波长辐射的光场调控手段,在高精度成像及测量等前沿技术领域具有重要的应用前景。

极紫外至软X射线辐射具有极短的波长和极高的光子能量,在高分辨率成像等领域展示出独特优势。由于大多数材料对该波段辐射的强吸收性,可见光波段及红外波段常用的光场调控方式在极紫外波段几乎全部失效,该技术难题严重阻碍了极紫外光的应用发展。

针对这一挑战,研究团队基于衍射光学元件光子筛,创新性地实现了多平面各向异性分束聚焦的调控方式,并利用实验所得结果实现了焦斑恢复,理论与实验结果十分吻合。研究人员在放电等离子体极紫外46.9 纳米(nm)激光光场调控实验中,利用光子筛成功地在其单焦平面和双焦平面处分别产生3个等光强焦斑。基于实验采集的数据,通过自动对焦技术推导出理论焦平面上的焦斑尺寸与相应的理论值吻合,从而验证了这种短波长光场调控手段的有效性和实用性。这一重要突破有望推动集成化极紫外光学系统的发展,也为短波长单次曝光成像、干涉测量等技术提供了可行方案。  



基于光子筛的多平面各向异性分束聚焦示意图


单焦平面和双焦平面的原子力显微镜归一化图像
哈工大激光空间信息全国重点实验室为论文第一署名单位,航天学院博士生成珂阳为论文第一作者,崔怀愈副教授和张军勇副研究员为论文共同通讯作者。该研究获国家自然科学基金项目、中国科学院战略性先导科技专项的支持。

论文链接:https://doi.org/10.1364/OPTICA.559913


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 楼主| 发表于 3 天前 来自手机 | 显示全部楼层
对EUV的极紫外光的 收集突破?

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 楼主| 发表于 3 天前 来自手机 | 显示全部楼层
收集做好了,EUV光功率不需要那么大。

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 楼主| 发表于 3 天前 来自手机 | 显示全部楼层
崔怀愈,成珂阳,申玉杰,吴俊池,赵东迪,赵永蓬. 极紫外微纳光场调控及应用, 哈尔滨,第十四届全国光子学学术会议,2025-8-17至2025-8-17.(Invitation)

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 楼主| 发表于 3 天前 来自手机 | 显示全部楼层
‌创新技术‌:基于衍射光学元件光子筛,实现了多平面各向异性分束聚焦调控方式,在46.9 nm极紫外激光实验中成功产生3个等光强焦斑‌。
‌应用价值‌:这一突破推动了集成化极紫外光学系统发展,有望应用于半导体光刻、干涉测量等前沿领域‌。
3. ‌背景延伸‌
该研究由哈工大航天学院赵永蓬团队主导,崔怀愈担任通讯作者之一,成果发表于《Optica》期刊‌。
会议期间,团队与中科院上海光机所等机构深入交流,进一步促进了极紫外光源技术的产学研合作‌。
‌崔怀愈团队的研究标志着我国在短波长光场调控领域已处于国际领先水平‌,其工作对提升国家光子学技术竞争力具有战略意义‌。

高级战友

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发表于 3 天前 来自手机 | 显示全部楼层
不发science?这么重要
发表于 3 天前 来自手机 | 显示全部楼层
厉害,这么先进的技术能把水变成油吗?

新手上路

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发表于 3 天前 来自手机 | 显示全部楼层
延河宣传志愿者 发表于 2025-9-2 21:52
厉害,这么先进的技术能把水变成油吗?

还得过几年吧,不如渣理突破性别禁锢的师生恋那么感人肺腑,突破科技。

白金长老

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发表于 3 天前 | 显示全部楼层
ljk0926ww 发表于 2025-9-2 22:11
还得过几年吧,不如渣理突破性别禁锢的师生恋那么感人肺腑,突破科技。 ...

那位宫老师现在何处,方院士现在到处活动没事了
发表于 前天 11:16 来自手机 | 显示全部楼层
congyun 发表于 2025-9-2 22:56
那位宫老师现在何处,方院士现在到处活动没事了

方是院士,人家的能量不是你们这种臭鱼烂虾能想象的到的
发表于 前天 13:24 来自手机 | 显示全部楼层
ljk0926ww 发表于 2025-9-2 22:11
还得过几年吧,不如渣理突破性别禁锢的师生恋那么感人肺腑,突破科技。 ...

跟哈工业的水变油这种震惊世界级别的颠覆性创新科技还是比不了,你们更厉害

初出江湖

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发表于 前天 13:40 来自手机 | 显示全部楼层
延河宣传志愿者 发表于 2025-9-3 13:24
跟哈工业的水变油这种震惊世界级别的颠覆性创新科技还是比不了,你们更厉害 ...

那是不如北理碰瓷院校

青铜长老

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发表于 前天 13:42 | 显示全部楼层
tivouk 发表于 2025-9-3 13:40
那是不如北理碰瓷院校

延河宣传志愿者不是北理工的,不用理会他。

初出江湖

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发表于 前天 13:43 | 显示全部楼层
wanquanhe怎么还不来?
发表于 前天 13:43 来自手机 | 显示全部楼层
tivouk 发表于 2025-9-3 13:40
那是不如北理碰瓷院校

谁碰瓷谁你搞搞清楚,首都高校可能去碰瓷一个末流省份黑龙江的学校吗?说话之前动动脑子
发表于 前天 13:48 来自手机 | 显示全部楼层
蜗牛爱吹牛 发表于 2025-9-3 13:42
延河宣传志愿者不是北理工的,不用理会他。

你怎么连ID都不改呢,还记得6月底上次是谁把你从北理四川招生群里踢出来的吗?想起来了吗?冒充25级考生家长的这位哈工业的捣乱小孩子,问你呢?

青铜长老

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发表于 前天 13:50 | 显示全部楼层
延河宣传志愿者 发表于 2025-9-3 13:48
你怎么连ID都不改呢,还记得6月底上次是谁把你从北理四川招生群里踢出来的吗?想起来了吗?冒充25级考生 ...

很久以前,一个老人以编筐为生,有一天,老人接到了大单子,于是连夜的编筐。他的孙子担心老人累坏身体,就趁着老人睡觉的时候,帮老人编筐。老人睡醒后,看到孙子编的筐,夸赞道:“孙子,你可真会编。”

白金长老

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发表于 前天 13:52 | 显示全部楼层
杭里低素质精神校友比较多, 一个北华航天的,一个三本珠海学院的 ,都梦想是985的。
发表于 前天 13:57 来自手机 | 显示全部楼层
蜗牛爱吹牛 发表于 2025-9-3 13:42
延河宣传志愿者不是北理工的,不用理会他。

说呀,怎么不敢了?哑巴了?你们哈工业不是最喜欢倒打一耙贼喊捉贼吗,那说说呀?你是怎么被踢出北理四川25招生群的?哪个ID踢的你,想起来了吗?为什么踢你?绷,当时群里治完你以为你长教训了,没想到现在又跑到论坛上来对线来了,好呀,来呀,给大家看看你的小棕熊头像

青铜长老

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发表于 前天 13:59 | 显示全部楼层
延河宣传志愿者 发表于 2025-9-3 13:57
说呀,怎么不敢了?哑巴了?你们哈工业不是最喜欢倒打一耙贼喊捉贼吗,那说说呀?你是怎么被踢出北理四川 ...

东汉末年曹操攻下冀州,纳袁绍儿媳甄姬与儿曹丕为妻。一日操带众将领游至丕住处。见丕卧草席乘凉,只见那草席红头绿尾蕾丝边,中间一对玉蟒夺珠,操视之甚是喜爱,细问编席者何人,侍从告操编席者乃其儿媳甄姬也。操恐让儿媳编席不雅。又问谁还能编,众人皆不知。少时人群中一人高声答道,甄姬爸能编。
发表于 前天 14:00 来自手机 | 显示全部楼层
congyun 发表于 2025-9-3 13:52
杭里低素质精神校友比较多, 一个北华航天的,一个三本珠海学院的 ,都梦想是985的。 ...

你到底是哪里的野狗?是真是哈工业的还是串子?还是其他学校的?一天到晚在北理的帖子里面阴阳怪气,你有大病?
发表于 前天 14:02 来自手机 | 显示全部楼层
congyun 发表于 2025-9-3 13:52
杭里低素质精神校友比较多, 一个北华航天的,一个三本珠海学院的 ,都梦想是985的。 ...

随你便,不管你是不是真是哈工业的,再告诉你最后一遍,听好了小崽子,某校的深圳校区没了,你口中的“三本珠海学院”现在是北理珠海校区,而且是有K12一贯制基础教育的完全校区,配有双研究院和附属医院的完全大学,听明白了吗?你要是智商低理解能力差我可以免费再给你说一遍
发表于 前天 14:05 来自手机 | 显示全部楼层
蜗牛爱吹牛 发表于 2025-9-3 13:59
东汉末年曹操攻下冀州,纳袁绍儿媳甄姬与儿曹丕为妻。一日操带众将领游至丕住处。见丕卧草席乘凉,只见那 ...

没有用,哈工业已经输了,退赛了,广东站已经没有你们的位置了好吧,不管你怎么嘲讽北理无所谓,看结果就好了,打嘴仗没有任何意义,某校的深圳校区原址北理也会努力争取分一杯羹的

青铜长老

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发表于 前天 14:17 | 显示全部楼层
延河宣传志愿者 发表于 2025-9-3 14:02
随你便,不管你是不是真是哈工业的,再告诉你最后一遍,听好了小崽子,某校的深圳校区没了,你口中的“三 ...

@版主,这个ID小号不给封了?

初出江湖

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发表于 前天 15:39 来自手机 | 显示全部楼层
ljk0926ww 发表于 2025-9-2 22:11
还得过几年吧,不如渣理突破性别禁锢的师生恋那么感人肺腑,突破科技。 ...

哈哈哈,北理工花边新闻的确多

老战友

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发表于 前天 15:58 | 显示全部楼层
蜗牛爱吹牛 发表于 2025-9-3 14:17
@版主,这个ID小号不给封了?

看热闹看得我都绷不住了…^_^  上次被管理员以白底红字置顶帖彻底扯掉遮羞布剥皮示众了好些天, 你怎么好意思、怎么还有脸出来现呢?要不告诉大家一下你是怎样痛哭流涕、信誓旦旦不再犯跪求管理员又放你出来的?^_^
真是奇葩啊,被当街剥光示众后还能这样大言不惭地大摇大摆地又出来现的,本坛独一份啊。真正体现了“我是流氓我怕谁”无赖精神…

青铜长老

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发表于 前天 16:02 | 显示全部楼层
Andy8888 发表于 2025-9-3 15:58
看热闹看得我都绷不住了…^_^  上次被管理员以白底红字置顶帖彻底扯掉遮羞布剥皮示众了好些天, 你怎么好 ...

你个傻鸟又知道内幕了?
发表于 前天 16:15 来自手机 | 显示全部楼层
蜗牛爱吹牛 发表于 2025-9-3 16:02
你个傻鸟又知道内幕了?

啊?原来你被裸体示众过啊!天呐!
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