光源技术的突破更多体现在实验数据上。 哈工大的放电等离子体EUV光源实现了120瓦的稳定功率输出，连续工作时间超过8小时

科学家

100瓦以上可商用，但离AsML250瓦还有距离。

tmacnumber1

大吹法螺

科学家

tmacnumber1 发表于 2025-12-1 15:00
大吹法螺

那像华中科大吹牛，吹到官方来辟谣。

fengzhizi

如果真成功了，我也会为你哈祝贺！

nanpanda

哈工牛，祝尽快成功，干败ASML

subcom

不懂，但如果真的能够商用，哪怕效率差一点，哈工大也立下**的功劳。

changwu

我也考虑整个小马甲玩玩。

科学家

泉州半导体高新技术产业园区管理委员会关于泉州市十七届人大三次会议第1029号建议的答复
时间：2024-05-28 09:47
尊敬的蒋碧辉代表：

　　《关于泉州引进EUV光源技术项目的几点建议》（第1029号）收悉。该建议由我管委会会同泉州市财政局办理。现将有关办理情况汇总答复如下：

　　一、我市半导体产业发展及EUV光源技术的基本情况

　　2016年，为推动全市产业转型升级、经济跨越发展，泉州市委、市政府及时作出决策部署，瞄准半导体产业赛道谋求创变突围，提出“举全市之力、借全国之势、聚全球之智”大力发展半导体产业。截至目前，全市已累计引进半导体产业重点项目88个，总投资规模1527亿元，初步形成“以集成电路、化合物半导体为支柱”、“以晋华、三安、渠梁为龙头”、“集成电路、光芯片、射频芯片、高端光电芯片、特种材料五大产业链条”的“235”发展格局。2021年9月，泉州半导体产业集群列入福建省首批战略性新兴产业集群名单。2023年全市实现半导体产业产值285亿元，近三年年均增长率为36.1%，未来有望继续保持高速增长态势。

　　随着半导体先进制程的不断发展，EUV光源技术已成为影响芯片制造成本和质量的关键技术之一。据了解，目前国内在研的EUV光源技术以哈尔滨工业大学的放电等离子体极紫外光源（DPP）以及中国科学院上海光机所的激光等离子体极紫外光源（LPP）为主，并实现一定程度上的突破，可用于光刻机元件及整机，掩膜质量、晶圆质量等生产环节的检测。我市半导体产业起步较晚，相关人才储备相对不足，相关专业高等院校和科研机构较为缺乏，因此尚未能引进落地此类优质项目。

　　二、积极开展EUV光源技术项目招商引资工作

　　管委会充分发挥晋华、三安、渠梁等产业链主企业引领带动作用，瞄准设备制造、零部件配套、精密仪器等关键技术领域开展招商活动，推动产业链上下游集聚发展。一是锚定关键技术。将发布并组织实施《泉州市光子技术产业发展规划（2023-2027）》，打造以先进微纳光子技术、超精密光学工程技术为特色的高新技术产业集群，《规划》已把先进成像光学技术纳入重点发展方向，抢抓光刻技术发展机遇。二是聚力产业链招商。以实施“链长制”为重要抓手，聚焦产业强链补链延链，瞄准晋华、渠梁国产化替代关键环节，建立健全龙头企业联合招商机制，绘制完善产业链招商图谱，精准招引泰研先进封装设备、良颐科技半导体传送设备等先进制程关键零部件，有效补齐产业配套环节。三是开展“点对点”招商。基于您的建议，今年4月份，管委会主任洪武强带队赴哈尔滨工业大学开展“点对点”招商活动，专门对接赵永蓬教授及其科研团队，围绕放电等离子体极紫外光源（DPP）项目开展深入交流，构建团队及技术引进的靶向对接渠道。

　　三、积极构建EUV光源技术发展的产业生态

　　EUV光源等半导体关键技术属于技术、人才、资金密集型产业，引进发展该产业对所在地软硬件环境有较高的要求，管委会及有关市直单位推出一系列务实举措，不断优化完善我市半导体产业生态。一是加强政策支持。市财政局会同相关部门，制定出台《泉州市关于支持扩大有效投资促进产业发展提质增效的实施意见》及企业技术创新基金实施方案、中小微企业融资增信基金实施方等相关配套政策，构建“1+N”“财政政策+金融工具”政策体系，鼓励和带动社会资本参与半导体领域投资，全面推进半导体企业提升行业竞争力。二是提供金融保障。管委会会同市财政局、金控集团等有关单位，共同推动泉州市半导体产业投资基金设立（总规模30亿元，首期10亿元）。同时，签约落地元禾厚望、国科嘉和等行业头部基金，全面优化半导体产业金融生态，助力半导体产业链相关技术的落地转化。三是建设科研平台。贯彻落实省、市两级工作部署，管委会会同市科技局、泉州发展集团、丰泽区政府等有关单位筹建福建省光子协同创新研究院，助力我市光子产业高质量发展，也将为我市吸纳EUV光源科研团队及技术转化提供有力支撑。四是升级引才政策。聚焦人才“招引用留”难题，管委会牵头制定《泉州市支持半导体产业人才引进若干措施》（泉政办规〔2023〕16号），在购房补贴、大学毕业生一次性生活补助等方面进一步提高标准，为半导体高端人才引进提供“真金白银”的政策支持。

　　下一步，管委会将会同有关单位，积极对接哈尔滨工业大学、中国科学院上海光机所等国内具备EUV光源技术研发能力的相关高校院所，力争引进EUV光源技术的领军人物和专家团队，导入相关的EUV光源技术。同时，持续对接国家开发银行、中国进出口银行等政策性银行资源，深化与优质半导体投资机构的合作，为引进EUV光源等半导体产业链相关技术做好要素保障。

　　衷心感谢您对我市半导体产业发展的关心和支持！

　　



　　泉州半导体高新技术产业园区管理委员会

　　2024年5月21日。

大家看看上面的内容，心里应该明白一点啥。

科学家

今年4月份，管委会主任洪武强带队赴哈尔滨工业大学开展“点对点”招商活动，专门对接赵永蓬教授及其科研团队，围绕放电等离子体极紫外光源（DPP）项目开展深入交流，构建团队及技术引进的靶向对接渠道。