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国产半导体检测装备迎里程碑：首台半导体级CVS镀液在线分析仪出货; m2 e( V3 o; z
2026年6月30日
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6 ^! ^0 s+ S6 g/ F& k \; M' [8 z近日，苏州实钧芯微电子有限公司与厦门大学高端电子化学品国家工程中心联合研发的首台半导体级CVS镀液在线检测添加分析仪成功出货中国先进封装龙头企业。这是国产半导体检测装备领域的重要突破，标志着我国在半导体电镀工艺关键检测环节迈出了自主可控的关键一步。
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▍打破垄断，填补国内空白
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# c* H' b6 P5 [- f" X该产品是实钧芯与厦门大学高端电子化学品国家工程中心联合研发的成果。作为一款完全国产化的半导体级CVS镀液在线分析仪，它填补了中国在TGV、TSV及大马士革工艺等先进封装和晶圆制造领域自动检测分析添加系统的空白。
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CVS是目前唯一能够直接定量分析电镀液中有机添加剂含量的电化学技术。在半导体先进封装和晶圆制造过程中，电镀液中有机添加剂（如光亮剂、抑制剂、整平剂）的浓度直接决定了TSV填孔、TGV通孔填充、大马士革铜互连等关键工艺的质量与良率。长期以来，这一核心检测设备高度依赖进口，成为制约国内半导体产业链自主可控的瓶颈之一。' H; _1 d) x" u; K
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此次实钧芯推出的国产CVS镀液在线分析仪，实现了三大核心突破：
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- e0 }4 ~3 f- O一是填补技术空白，完整覆盖TGV、TSV、大马士革工艺的自动检测与添加系统；
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二是精度对标国际，检测精度已达国际同行标准，可实现对电镀液中多种有机添加剂的精准定量分析；
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三是全自主可控，从核心算法到硬件系统实现全面国产化，供应链安全可控。6 w2 F0 {# `2 R. J1 }
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▍产学研协同，厦门大学国家工程中心赋能9 s& R: E1 V$ q) X3 |
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产品的成功研发，离不开强有力的产学研支撑。厦门大学高端电子化学品国家工程研究中心是由原醇醚酯化工清洁生产国家工程实验室根据国家发改委指导意见重组升级的国家级科研平台。该工程中心在电子电镀相关电子化学品、湿电子化学品研发以及高端电子化学品的材料、设备、验证及方法学等领域拥有系统布局。
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( V# i& S+ B5 x* o, |5 n实钧芯与工程中心深度合作，将工程中心在电子电镀工艺验证、分析检测平台等方面的科研积累与实钧芯的产业化能力相结合，共同攻克了CVS在线分析仪在半导体级精度、稳定性和可靠性方面的技术难关，实现了从实验室技术到量产装备的跨越。6 X6 g- a* L. o! M+ t
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▍首台交付，国产替代加速1 d* c) j9 N) T. _ t% O6 Z3 b) ~7 v
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此次首台设备出货先进封装龙头企业，意义尤为深远。
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( `1 d2 h3 x. b* n作为中国封测行业龙头企业，对供应链的审核标准极为严苛。实钧芯CVS镀液在线分析仪能够成功进入其供应链，充分证明了产品在精度、稳定性和可靠性方面已获得产业界头部客户的高度认可。% A. }) ]# t& N5 m
' k5 g' _& Z1 w" e1 Q8 P该设备的投入使用，将帮助企业在TSV、TGV等先进封装工艺中实现电镀液添加剂的在线自动监测与精准补加。相比传统实验室取样检测模式，在线分析仪可实现不间断的周期连续自动监测，显著提升检测效率与工作产能，有效保障电镀工艺的稳定性，助力提升产品良率。
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R! m+ ]6 j/ y o5 O+ i▍从“跟跑”到“并跑”，实钧芯的国产化之路
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苏州实钧芯微电子有限公司成立于2022年，但其技术积累可追溯至1997年。公司在半导体加热器、特种光源等领域已建立起深厚的技术壁垒和客户基础，此次CVS镀液在线分析仪的成功出货，标志着公司正式切入半导体检测设备这一赛道。, e2 F0 I1 S3 a& _; h
o, E2 v# `" r! R1 @: M+ |从半导体加热器到特种光源，再到CVS镀液在线分析仪，实钧芯正沿着半导体核心零部件国产替代的路径稳步前行。首台半导体级CVS镀液在线分析仪交付，不仅是一家企业的产品突破，更是中国半导体产业链在检测装备领域实现自主可控的一个缩影。 |
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