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发表于 2025-1-17 00:27:02
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tsenway 发表于 2025-1-16 10:58* T9 N; c T, c2 M3 |, k
北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上,很明显是有点语嫣不详。& O# m1 _) g. {$ l; V. ~6 G
先看今天北大、交大官网上 ... # [6 W5 P: B+ {8 Z+ l$ M$ g
2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍
. W' G( Q/ M m+ B7 b! }北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介
( A; V3 \. z" u7 {1 ?来自: 电子与信息 >
& B @5 V; N$ n$ p t m" j
. c3 ?2 I3 u, a, x/ X5 Slogic2002! [2 }9 ~# q( |0 a' G
楼主 2007-9-5 00:30
- a" G, y: c) X3 u回复) _* s1 u Q( O" G
微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805)8 p) e I6 I% k \3 L
所属单位 信息科学技术学院
3 s$ {7 w( L3 n* s9 j使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层2 i" f. _* `6 m$ I* r3 Q. [
管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室* ' S' L% e" S' S5 N
实验室主任 王阳元 8 a& C1 t, \: T" a7 o
微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境,拥有900平方米超净厂房,150余台套工艺实验和检测设备,价值超过8000万元,是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。) K% m' N/ M& R
实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面,实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师,是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
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