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发表于 2025-1-17 00:27:02
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tsenway 发表于 2025-1-16 10:58
) ^0 B, Z3 x# C7 s k" [6 w5 `! p, d$ U北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上,很明显是有点语嫣不详。
2 s8 w' C% E1 L' E, D5 \- z5 J先看今天北大、交大官网上 ... ) O1 j% |( ^+ D8 `8 R
2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍
4 a; A0 k2 G. I- G! M, [北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介0 n- g0 _8 {) A) X, O( u7 b( e& A
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) u+ v: }1 j6 D+ Q. V7 C6 P" u. u2 [- u( _8 Q3 p. m
logic20023 W5 Y7 O: G* h, s( A) u, m; O
楼主 2007-9-5 00:30
! ^2 R: u {+ W2 v8 e回复
: G( S6 _5 V R: ~微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805) B. W: H( N( j0 I! m E9 W
所属单位 信息科学技术学院 0 A6 q! l' U6 X6 O# M
使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层& o, J2 N9 M& X7 x
管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室* / _4 {$ V) M$ y7 {: b
实验室主任 王阳元
6 }" [3 x8 B: J" ^+ I9 U微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境,拥有900平方米超净厂房,150余台套工艺实验和检测设备,价值超过8000万元,是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。
+ Q( q' c5 @, C' {* H& x. |. M; U' A5 T 实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面,实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师,是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
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