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发表于 2025-1-17 00:27:02
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tsenway 发表于 2025-1-16 10:581 x5 _# D( [$ b% e. _+ W( q$ J
北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上,很明显是有点语嫣不详。# {6 E- G4 B% ^
先看今天北大、交大官网上 ...
8 d+ y0 W& P3 ^2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍. F7 k, { t2 y/ T/ G
北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介# f& k& \5 @/ U$ y5 v
来自: 电子与信息 >& E% u- [5 ?8 a2 \* q, i. m
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logic20024 s9 }6 i- e: ^" W D9 i
楼主 2007-9-5 00:30
9 S6 _+ \# F! B! H$ D/ j! i. X# n回复
$ s* w T) z/ X+ W5 [- W# O% _; o. [微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805)
- J, I% S. u: I所属单位 信息科学技术学院
( j, ?. g9 _) A9 ?: n, N+ x) n3 A2 R使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层' e k. A, Q. }6 P; ~
管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室*
% Q, _0 Y) ?# s( F w+ @$ a实验室主任 王阳元
7 ?3 g2 ~1 a; S s微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境,拥有900平方米超净厂房,150余台套工艺实验和检测设备,价值超过8000万元,是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。
' `1 i, Y$ s. j" W' p; Y9 c 实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面,实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师,是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
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