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发表于 2025-1-17 00:27:02
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tsenway 发表于 2025-1-16 10:58
: B \# O& k" q# o2 H" ~; q" p北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上,很明显是有点语嫣不详。+ u5 O8 p+ k. Z9 z2 m, `: I
先看今天北大、交大官网上 ... 2 |% ~3 G. L6 E& i
2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍0 Y5 H2 ~) T) S X/ `& R+ G3 E2 i
北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介
9 @2 Z! w a9 b. P0 d1 ~/ R2 x; y来自: 电子与信息 >
8 p7 J0 I) I5 b5 _/ `6 v$ y, c, N8 _) R" O, y3 c
logic2002
4 O! i& D M i1 M楼主 2007-9-5 00:303 E1 r% k& Q% V w$ C% z. A
回复1 G) q+ ~7 V$ j7 I& I
微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805)$ w/ k) g$ t6 x) e
所属单位 信息科学技术学院 5 n2 E* u7 [0 u/ }, S" i/ U
使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层" {4 ?) T( _3 z+ n; ]
管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室*
$ }) K( f& w4 {8 k实验室主任 王阳元 6 u0 X* Z: T6 l6 V4 U& G
微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境,拥有900平方米超净厂房,150余台套工艺实验和检测设备,价值超过8000万元,是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。9 g( t9 x2 [6 l' {; g& F
实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面,实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师,是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
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