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发表于 2025-1-17 00:27:02
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tsenway 发表于 2025-1-16 10:58
# H" `6 _" F, ^- m% a! N3 J. p北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上，很明显是有点语嫣不详。 r; U# r2 g1 f, N6 h8 B. {
先看今天北大、交大官网上 ...
3 u, g4 d+ t: m0 O4 U2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍
% B8 z4 X& x* U: q0 V3 H北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介9 U+ g; y/ k0 M* [' R( E1 [) w
来自： 电子与信息 >% Z& z, }8 |) j/ u: p ?
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logic2002
# L# v, x/ ?) ~ X5 Z2 Z% l楼主 2007-9-5 00:30 F/ ^# p) u6 e. A3 l0 e+ N4 {
回复! M- f- e n* G* h- s9 F* i- H
微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805)2 ]2 l$ i4 `! j' E y/ ?
所属单位 信息科学技术学院
8 x& ]; ~+ r7 Z& t6 I使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层% J& K" {6 c: G$ H, i3 v
管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室* m/ r- T9 f+ v+ j5 C0 `( [0 ] `
实验室主任 王阳元 8 g: ~0 g& x! v v3 M% J
微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境，拥有900平方米超净厂房，150余台套工艺实验和检测设备，价值超过8000万元，是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。
/ s" v# X1 E, j1 X7 v: j; H- \ 实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面，实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师，是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
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