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发表于 2025-1-17 00:27:02
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tsenway 发表于 2025-1-16 10:58
4 _$ E: a8 ?; R2 D4 Z8 T北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上,很明显是有点语嫣不详。
( ~& Q6 @- k" U; @先看今天北大、交大官网上 ...
8 R- f. @0 k5 P& i$ d# B# i2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍% u* V$ z. q& e, x9 f9 G! L
北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介
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6 o9 i, i! ~3 n% p# d; N' {) G4 i v
logic2002! i5 A) ^. T; Q! s
楼主 2007-9-5 00:30$ N) t2 K7 x- Z9 a( }. K- W7 Q
回复8 f" o, @2 B. |& m5 E
微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805)
P1 f0 F* m7 N9 J' r0 Y所属单位 信息科学技术学院
_/ ^3 `/ S9 G- O7 g1 G使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层# K% e. G4 G9 E# |( a1 ~
管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室*
1 ~+ r, Z- o: [; R: M3 |. W' ]. L, d实验室主任 王阳元 q/ M$ [4 \! L) f+ N, t' Z2 g
微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境,拥有900平方米超净厂房,150余台套工艺实验和检测设备,价值超过8000万元,是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。7 g' K3 @$ i2 p- Q
实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面,实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师,是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
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