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发表于 2025-1-17 00:27:02
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tsenway 发表于 2025-1-16 10:58, T( J3 W2 K& S! _/ }6 U5 @
北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上,很明显是有点语嫣不详。5 M3 r, U2 Y9 h0 w9 w' G) X
先看今天北大、交大官网上 ...
9 e. A3 b! f0 y$ G, u2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍
6 W& j# t- c& U5 [$ F北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介
" P: p) |7 F4 x; ?7 e2 T- j来自: 电子与信息 >
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! j f; Y, F& v; N) P G. Vlogic2002$ L" V u; L l
楼主 2007-9-5 00:303 f' a5 j, D! w2 E" W `# @' h0 A
回复4 o* O5 G. r, }% ~! ?
微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805)
1 s3 u2 H4 k# F4 J' m5 o9 D* z) g所属单位 信息科学技术学院 ) v3 [4 u" q7 R
使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层4 U# z: c8 b3 z& F$ U3 d
管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室*
: `& y' Z& _% M: A实验室主任 王阳元 % K4 ]' R5 T+ {) c4 |
微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境,拥有900平方米超净厂房,150余台套工艺实验和检测设备,价值超过8000万元,是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。+ I% r3 ^# I2 ?' c2 [
实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面,实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师,是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
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