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发表于 2025-1-17 00:27:02
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tsenway 发表于 2025-1-16 10:58
4 X# V; @* K8 y: J+ O2 k北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上,很明显是有点语嫣不详。4 `( [6 R, k/ V
先看今天北大、交大官网上 ... , G+ B7 l% w0 o# D9 Q- G8 n' r9 ?
2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍5 G9 @: c* \1 V8 j2 y' _9 g- J
北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介
: W9 m0 Y/ ] c; g- X5 C. S8 M ?" Q来自: 电子与信息 >
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logic2002) N/ J' g, J+ h8 Y' |
楼主 2007-9-5 00:30
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微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805)
9 a2 g( P$ b4 U5 Z3 c3 {4 g5 [所属单位 信息科学技术学院
9 e* C2 G7 k( B使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层5 Z" l2 Q& c1 f5 O
管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室* 1 j7 ~- O% q, u! E* Y
实验室主任 王阳元 % v! \- d( Y+ m1 _+ p
微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境,拥有900平方米超净厂房,150余台套工艺实验和检测设备,价值超过8000万元,是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。( R2 s, @1 b8 { b1 D
实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面,实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师,是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
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