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发表于 2025-1-18 15:00:52
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微米/纳米工程科学重点实验室研究的对象是微纳电动机、微形机器人、微型飞行器、小卫星及其变轨装置等等,是机械工程的一个领域;
. i0 b0 a% t. v" w" T/ b1 ^微米/纳米加工技术重点指的是利用光刻机、镀膜机以及光刻腐蚀、清洗(显影定影)手段,制造电子器件的技术,主要是为制作芯片及其他电子器件服务。3 s. O, w* M1 L* X
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