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微米/纳米工程科学重点实验室研究的对象是微纳电动机、微形机器人、微型飞行器、小卫星及其变轨装置等等,是机械工程的一个领域;' L) H6 _: T" e7 Z% L0 X: Q/ ^
微米/纳米加工技术重点指的是利用光刻机、镀膜机以及光刻腐蚀、清洗(显影定影)手段,制造电子器件的技术,主要是为制作芯片及其他电子器件服务。- I- h: z% O% q- S; }) F
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