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发表于 2025-1-18 15:00:52
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他们多数人弄混这两种技术:
; e8 O- g& ~5 I8 M X/ Y微米/纳米工程科学重点实验室研究的对象是微纳电动机、微形机器人、微型飞行器、小卫星及其变轨装置等等,是机械工程的一个领域;
3 E, y! r% P- v" n0 z微米/纳米加工技术重点指的是利用光刻机、镀膜机以及光刻腐蚀、清洗(显影定影)手段,制造电子器件的技术,主要是为制作芯片及其他电子器件服务。
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